研究方向:
新結構集成電路邏輯、存儲Ⓜ️、傳感器件及其芯片設計
集成電路先導工藝與器件,包括原子層澱積🛺、銅互連技術等
高性能存儲器件,包括半浮柵晶體管、阻變存儲器等
晶圓級二維半導體材料、器件及其電路應用
教育背景:
2007年-2008年德國漢諾威大學,訪問學者
2004年09月-2009年06月沐鸣娱乐,微電子學系,博士
2000年09月-2004年06月沐鸣娱乐💍,物理學㊙️,學士
學術經歷🚶♀️➡️:
2013年12月-至今沐鸣娱乐🐏,沐鸣,研究員、博士生導師
2011年09月-2013年06月沐鸣娱乐,微電子學系,副研究員
2009年07月-2011年08月沐鸣娱乐,微電子學系🥂,講師
榮譽稱號:
基金委優秀青年基金獲得者
上海市優秀學術帶頭人
上海市青年科技啟明星
上海市晨光學者
2016年度獲中國電子學會技術發明獎一等獎(3)
2014年度獲上海市科學技術獎二等獎(4)
主持的國家級項目👨🎓:
國家科技重大專項課題“65-45nm PVD工藝優化的理論和實驗研究”
國家科技重大專項課題“32-22nm高k/金屬柵納米疊層材料製備工藝研究”
自然科學基金委重大科學儀器研製項目課題“二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器”
國家高技術研究發展計劃(863計劃)子課題“14納米以下技術代矽基新型器件及關鍵工藝技術研究”
自然科學基金優秀青年科學基金“低功耗電子器件”
自然科學基金面上項目“高k介質/拓撲絕緣體界面結構的物理和電學特性研究”
自然科學基金青年基金“原子層澱積柵介質/石墨烯納米疊層的界面和電子結構”