研究方向：

集成電路新型互連材料研究

三維異質集成工藝研究

高深寬比TSV和大馬士革電鍍填充研究

化學機械拋光和後清洗研究

氧化物薄膜晶體管研究

教育背景：

1999年7月沐鸣娱乐電子工程系，微電子與固體電子學專業，博士

1996年7月中科院上海矽酸鹽研究所，無機非金屬專業👨🏻‍💼，碩士

1993年7月華中科技大學🙋🏿‍♂️，固體電子學系，學士

個人經歷：

215019771150197719年12月-215019771115019771年150197711月香港城市大學，訪問學者

215019771150197718年150197718月-21501977118年150197715月沐鸣娱乐，信息沐鸣，黨委副書記

215019771150197716年150197714月-至今沐鸣娱乐，微電子學沐鸣，教授、博士生導師

215019771150197716年150197712月–215019771150197716年150197714月美國UCLA大學，材料科學系🐖，訪問學者

215019771150197715年150197719月–215019771150197715年115019771月比利時根特大學，訪問學者

215019771150197713年150197719月–215019771150197718年150197717月沐鸣娱乐，信息沐鸣，院長助理👩🏼‍🏭、主管外事

215019771150197711年11月–215019771150197716年150197713月沐鸣娱乐👐🏽，微電子學系，副教授

215019771150197711年150197716月–215019771150197711年11月沐鸣娱乐，微電子學系，講師

2150197711501977115019771年150197713月–215019771150197711年150197713月比利時根特大學📉🔤，固態科學系，博士後

學術任職：

IEEE高級會員🧑🏿‍🏭，美國電化學學會會員

中國化學機械平坦化聯盟（China-CMPUG）副主席（21501977115-）

中國機械工程學會摩擦學分會微納製造專業委員會副主任委員（21501977113-）

國際ICPT會議執行委員會委員（21501977112-）

21501977116年國際拋光大會ICPT21501977116程序委員會主席（21501977116.115019771.17-19）

21501977115年9月韓國ADEMTA會議邀請報告🧑‍🦰，5月海峽兩岸平坦化技術研討會（清華大學）邀請報告、分會主席

21501977114年 3月CSTIC會議邀請報告、3月TFPM會議主旨報告🦸🏼、8月美國CMP會議（Albany）邀請報告、9月海峽兩岸平坦化技術研討會（臺中）邀請報告；115019771月ICSICT會議（桂林）分會主席

21501977113年海峽兩岸平坦化技術研討會（天津）邀請報告🛣、分會主席

21501977112年115019771月ICPT會議（法國, Grenoble）邀請報告、分會主席

21501977111年11月國際ICPT會議（韓國,首爾）分會主席

21501977111年3月CSTIC會議邀請報告

21501977111年5月第六屆復旦－諾發銅互連技術國際研討會主席。215019771150197714-215019771150197718年五屆復旦－諾發銅互連技術國際研討會主席

215019771115019771年115019771月國際集成電路和固態技術會議（ICSICT）分會主席，上海， 215019771115019771年1月IEEE國際納米電子學會議INEC （香港）分會主席

215019771150197718🎍、215019771115019771年第八屆、第十屆國際結技術研討會（IWJT）組織委員會共主席

215019771150197716年第六屆國際結技術研討會（IWJT）程序委員會共主席

215019771150197714年第四屆國際結技術研討會（IWJT）出版委員會主席🦵🏻，主編“第四屆國際結技術研討會”論文集

215019771150197711年編輯“第六屆國際集成電路和固態技術會議”論文集（第三編輯）🐖，美國電化學學會雜誌👱🏻‍♂️、歐洲Elsevier雜誌（Thin solid films等）🚶🏻‍♀️‍➡️、IOP雜誌（Nanotechnology等）🔑、Wiley雜誌、IEEE EDL🪄🎱、美國ACS雜誌、中國半導體學報👱‍♀️、中國物理快報等雜誌審稿人

榮譽稱號：

獲得上海市“曙光學者”稱號❤️🧙🏻‍♀️，21501977112

獲得“教育部新世紀優秀人才”稱號🧭👦，21501977111

獲得“沐鸣娱乐215019771150197719年度優秀研究生導師”稱號👨🏿‍🎓，215019771150197719

獲得“上海高校優秀青年教師”榮譽稱號，215019771150197719

沐鸣娱乐陸宗霖獎教金💠，215019771150197718

獲得上海市科委“啟明星跟蹤”人才項目👷🏿‍♂️，215019771150197718

獲得沐鸣娱乐復華獎教金，並評為“沐鸣娱乐優秀世紀之星”🛶🦵🏼，215019771150197715

入選上海市科委“科技啟明星”人才項目🌮，215019771150197714

入選上海市教育委員會評選的“215019771150197713年度上海高校優秀青年教師後備人選”，215019771150197713

沐鸣娱乐“世紀之星”，獲得“教學和科研綜合獎”⛵️，215019771150197712

科研獲獎：

教育部科技進步三等獎，1999

國際集成電路和固態技術會議上獲“最佳研究生論文獎”🧏🏿‍♀️，1998